Besprochen werden Eigenschaften von dünnen Schichten als auch die Dynamik der Gase und/oder Plasmen in der Anlage und wie sich dünne Schichten auf der Oberfläche von Substraten bilden und verhalten.
Es ist nicht notwendig Festkörperphysik gemacht zu haben oder parallel zu machen, aber nützlich. Weiters wird zu Beginn der Stunde der Stoff der Vorherigen wiederholt, wodurch man gut mitkommt. Man sollte sich nicht von der frühen Vorlesungszeit 8:30-10:00 abschrecken lassen, auch im Halbschlaf bekommt man oft genug mit.
Zur Prüfung:
Diese ist mündlich, 3 Fragen (wie bei Technologie dünner Schichten VO) und man hat zwar keine offizielle Zeitbegrenzung, aber die Prüfung sollte nicht länger als 30 min dauern. 20 min ist realistischer für gut vorbereitete Leute. Auf Formeln legt er sehr geringen Wert (ich glaube ich wurde keine einzige gefragt), aber sehr viel auf Verständnis und Zusammenhänge. Was mir bei der Prüfung geholfen hat war der Umstand dass ich schon Festkörperphysik hinter mir hatte wo bei einigen Themen ähnlich sind.
Das Prüfungsklima ist angenehm, eher eine Art Gespräch, wo der Prof. auch hier und da aushilft und man auch nochmal nachfragen kann und er die Frage nochmal anders stellt um auf die Sprünge zu helfen.
Man kann sich die Prüfung über Email ausmachen, selbst bietet er keine fixen Termine nach Semesterende an.
Meine Fragen:
- Legierungen aufdampfen vs sputtern
- Elektronische Eigenschaften von dünnen Schichten
- Nukleation